GB/T 30653-2014
Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法
Test method for crystal quality of Ⅲ-nitride epitaxial layers
GBT30653-2014, GB30653-2014
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- 标准号
- GB/T 30653-2014
- 别名
- GBT30653-2014
GB30653-2014 - 发布
- 2014年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 30653-2014
- 适用范围
- 本标准规定了利用高分辨X射线衍射仪测试Ⅲ族氮化物外延片结晶质量的方法。本标准适用于在氧化物衬底(Al2O3、ZnO等)或半导体衬底(GaN、Si、GaAs、SiC等)上外延生长的氮化物(Ga、In、Al)N单层或多层异质外延片结晶质量的测试。其他异质外延片结晶质量的测试也可参考本标准。