GB/T 30653-2014
Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法

Test method for crystal quality of Ⅲ-nitride epitaxial layers

GB/T 30653-2014 中，可能用到以下仪器设备

 

EDX-GP能量色散型X射线荧光分析装置

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岛津企业管理（中国）有限公司/岛津（香港）有限公司

 

天瑞手持式P330/P530/P730S/P930能量色散分析仪

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江苏天瑞仪器股份有限公司

 

EDX3600B X荧光光谱仪

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江苏天瑞仪器股份有限公司

 

X荧光光谱仪EDX660

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江苏天瑞仪器股份有限公司

 

HD1000型X荧光光谱仪

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江苏天瑞仪器股份有限公司

 

NITON XL3t-700手持式RoHS分析仪

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Rigaku理学NEX-CG能量色散X荧光分析仪

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株式会社理学

 

JEM-ARM200F 原子分辨分析型透射电子显微镜

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日本电子株式会社(JEOL)

 

JEM-2100F 场发射透射电子显微镜

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日本电子株式会社(JEOL)

 

HF-3300场发射透射电子显微镜

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天美仪拓实验室设备（上海）有限公司

 

日立 IM4000PLUS离子研磨仪器

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天美仪拓实验室设备（上海）有限公司

 

帕纳科Zetium X射线荧光光谱仪(XRF)

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英国马尔文仪器有限公司

 

JEM-3200FS 场发射透射电子显微镜

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日本电子株式会社(JEOL)

 

科研手持XRF光谱仪 TRACER 5g/手持光谱仪

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布鲁克光谱仪器公司(BRUKER OPTICS)

 

HORIZON 全反射X荧光光谱仪

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利曼中国

 

冷场发射球差校正透射电镜

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日本电子株式会社(JEOL)

 

多功能粉末X射线衍射仪

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英国马尔文仪器有限公司

 

STEM探测器

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天美仪拓实验室设备（上海）有限公司

 

手持式XRF光谱仪- 有害元素筛选

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牛津仪器（上海）有限公司

 

反射模式样品进样器（粉末衍射）

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北京优纳珂科技有限公司

 

布鲁克 D8 D8 ADVANCE 达芬奇 X射线衍射仪

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布鲁克衍射荧光事业部（AXS）

 

X-Supreme8000能量色散X射线荧光光谱仪

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日立分析仪器（上海）有限公司

 

日立EA1000VX X射线荧光分析仪

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日立分析仪器（上海）有限公司

 

NT-MDT Ntegra Platform 原子力显微镜（AFM）平台

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上海纳腾仪器有限公司

 

布鲁克 LYNXEYE XE 能量色散型一维阵列探测器

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X射线异物分析装置 EA8000

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长沙开元弘盛科技有限公司

 

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山东盛泰仪器有限公司

 

检验精米机 砻谷机 碾米机

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科瑞恩特（北京）科技有限公司

 

科尔帕默分析用研磨机

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北京中科科尔仪器有限公司

 

VO2000便携式遥测运动心肺功能测试系统

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翻转式振荡器

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XtaLAB P200 小分子单晶X射线分析装置

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岛津MAXima_X XRD-7000X射线衍射仪

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岛津X射线衍射仪XRD-6000

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EDX-720型能量色散型X射线荧光光谱仪

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μEDX系列能量色散型微区X射线荧光光谱仪

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SPM-9700HT用纳米物理检测软件

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XRF7 便携能量色散X射线荧光分析仪

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XRF9 能量色散X射线荧光分析仪

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GB/T 30653-2014

标准号
GB/T 30653-2014
发布日期
2014年12月31日
实施日期
2015年09月01日
废止日期
无
中国标准分类号
H21
国际标准分类号
77.040.20
发布单位
CN-GB
适用范围
本标准规定了利用高分辨X射线衍射仪测试Ⅲ族氮化物外延片结晶质量的方法。本标准适用于在氧化物衬底(Al2O3、ZnO等)或半导体衬底(GaN、Si、GaAs、SiC等)上外延生长的氮化物(Ga、In、Al)N单层或多层异质外延片结晶质量的测试。其他异质外延片结晶质量的测试也可参考本标准。

GB/T 30653-2014系列标准

GB/T 30649-2014 声屏障用橡胶件 GB/T 30650-2014 矿脂防蚀带低温可操作性检测方法 GB/T 30651-2014 矿脂防蚀带耐高温流动性检测方法 GB/T 30652-2014 硅外延用三氯氢硅 GB/T 30658-2014 假肢和矫形器 开具下肢假肢处方考虑的因素 GB/T 30657-2014 假肢和矫形器 描述下肢截肢或先天性下肢缺失患者活动量考虑的因素 GB/T 30656-2014 碳化硅单晶抛光片 GB/T 30655-2014 氮化物LED外延片内量子效率测试方法 GB/T 30654-2014 Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法

GB/T 30653-2014 中可能用到的仪器设备

电镜制样设备 X射线显微镜 扫描探针/原子力显微镜SPM/AFM X射线(衍射)仪/能谱仪部件及外设 X荧光光谱/XRF（能量色散型X荧光光谱仪） X射线散射仪 X射线衍射仪(XRD) 透射电镜TEM 实验室研磨机/研磨仪/粉碎机/球磨机 化学合成仪 摇床、振荡器 动物代谢等功能检测设备


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