SJ/T 11508-2015
集成电路用 正胶显影液

Positive Photoresist developer for Integrated Circuit

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SJ/T 11508-2015

标准号
SJ/T 11508-2015
发布日期
2015年04月30日
实施日期
2015年10月01日
废止日期
无
中国标准分类号
L90
国际标准分类号
31.030
发布单位
CN-SJ
适用范围
本标准规定了集成电路用正胶显影液的术语、性状、技术要求、试验方法、检验规则和包装、标志、储存、运输等。本标准适用于集成电路用正胶显影液,以下简称正胶显影液。本标准不涉及使用安全性问题。本标准的使用人应负责建立适当的安全健康条款及使用范围的限制。

SJ/T 11508-2015 中可能用到的仪器设备

其它光学测量仪 液质联用仪 过程质谱/在线质谱 分子荧光光谱/荧光分光光度计 MALDI质谱 气质联用仪 纯水器/超纯水器/纯水机/超纯水机 实验室管理系统/LIMS 离心机 瓶口分配器 蛋白质纯化系统 细胞破碎仪 基因/DNA测序仪 空气检测仪(CO、SO2、HCL、NOX)


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