SJ/T 11508-2015
集成电路用 正胶显影液

Positive Photoresist developer for Integrated Circuit

标准号

SJ/T 11508-2015

发布日期

2015年04月30日

实施日期

2015年10月01日

废止日期

无

中国标准分类号

L90

国际标准分类号

31.030

发布单位

CN-SJ

适用范围

本标准规定了集成电路用正胶显影液的术语、性状、技术要求、试验方法、检验规则和包装、标志、储存、运输等。本标准适用于集成电路用正胶显影液,以下简称正胶显影液。本标准不涉及使用安全性问题。本标准的使用人应负责建立适当的安全健康条款及使用范围的限制。

SJ/T 11508-2015 中可能用到的仪器设备