ISO 20523:2017
碳基薄膜.分类和命名
Carbon based films - Classification and designations
- 标准号
- ISO 20523:2017
- 发布
- 2017年
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 20523:2017
- 引用标准
- VDI 2840-2012
- 本文件规定了碳基薄膜的分类、名称和简称。 这些薄膜以碳为主要组成部分，并通过物理气相沉积 (PVD) 或化学气相沉积 (CVD) 工艺沉积。 这包括非晶碳基薄膜，也称为类金刚石碳薄膜 (DLC)，以及 CVD 金刚石薄膜、石墨和类聚合物薄膜。 本文件适用于工业规模生产的薄膜。 其他碳基薄膜正在开发中。 本文件涉及碳基薄膜的材料。 它并不是指由主要功能层和下面...