ISO 20523:2017
碳基薄膜.分类和命名
Carbon based films - Classification and designations
说明：
- 此图仅显示与当前标准最近的5级引用；
- 鼠标放置在图上可以看到标题编号；
- 此图可以通过鼠标滚轮放大或者缩小；
- 表示标准的节点，可以拖动；
- 绿色表示标准：ISO 20523:2017 ， 绿色、红色表示本平台存在此标准，您可以下载或者购买，灰色表示平台不存在此标准；
- 箭头终点方向的标准引用了起点方向的标准。
- 标准号
- ISO 20523:2017
- 发布
- 2017年
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 20523:2017
- 引用标准
- VDI 2840-2012
- 本文件规定了碳基薄膜的分类、名称和简称。 这些薄膜以碳为主要组成部分，并通过物理气相沉积 (PVD) 或化学气相沉积 (CVD) 工艺沉积。 这包括非晶碳基薄膜，也称为类金刚石碳薄膜 (DLC)，以及 CVD 金刚石薄膜、石墨和类聚合物薄膜。 本文件适用于工业规模生产的薄膜。 其他碳基薄膜正在开发中。 本文件涉及碳基薄膜的材料。 它并不是指由主要功能层和下面...