ISO 20523:2017
碳基薄膜.分类和命名
Carbon based films - Classification and designations
- 标准号
- ISO 20523:2017
- 发布
- 2017年
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 20523:2017
- 引用标准
- VDI 2840-2012
- 适用范围
- 本文件规定了碳基薄膜的分类、名称和简称。 这些薄膜以碳为主要组成部分，并通过物理气相沉积 (PVD) 或化学气相沉积 (CVD) 工艺沉积。 这包括非晶碳基薄膜，也称为类金刚石碳薄膜 (DLC)，以及 CVD 金刚石薄膜、石墨和类聚合物薄膜。 本文件适用于工业规模生产的薄膜。 其他碳基薄膜正在开发中。 本文件涉及碳基薄膜的材料。 它并不是指由主要功能层和下面或上面的附加层组成的整个涂层。 层的成分和/或材料特性可以随着其厚度的变化而变化。 这样的层称为梯度层。 本文档中的定义指的是非渐变层。 碳基膜可以包括其他元素，如氢、金属元素或其他。 金属成分可以作为金属碳化物包含在内。 如果碳是主要成分，则本文件仅涵盖含有附加元素的薄膜。 以碳化物形式掺入的碳，如可存在于含金属的无定形碳膜（aC:Me、aC:H:Me）中的碳，不计入该数量。 本文件不适用于富勒烯、碳纳米管和石墨烯等碳材料。