Röntgenoberflächenanalyse

Für die Röntgenoberflächenanalyse gibt es insgesamt 88 relevante Standards.

In der internationalen Standardklassifizierung umfasst Röntgenoberflächenanalyse die folgenden Kategorien: analytische Chemie, Optik und optische Messungen, Längen- und Winkelmessungen.

British Standards Institution (BSI), Röntgenoberflächenanalyse

BS ISO 13424:2013 Chemische Oberflächenanalyse. Röntgenphotoelektronenspektroskopie. Berichterstattung über Ergebnisse der Dünnschichtanalyse
BS ISO 10810:2019 Chemische Oberflächenanalyse. Röntgenphotoelektronenspektroskopie. Richtlinien zur Analyse
BS ISO 10810:2010 Chemische Oberflächenanalyse. Röntgenphotoelektronenspektroskopie. Richtlinien zur Analyse
BS ISO 15472:2010 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektrometer – Kalibrierung von Energieskalen
BS ISO 14701:2018 Chemische Oberflächenanalyse. Röntgenphotoelektronenspektroskopie. Messung der Siliziumoxiddicke
BS ISO 14701:2011 Chemische Oberflächenanalyse. Röntgenphotoelektronenspektroskopie. Messung der Siliziumoxiddicke
BS ISO 16243:2011 Chemische Oberflächenanalyse. Aufzeichnung und Berichterstattung von Daten in der Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (XPS)
BS ISO 16129:2018 Chemische Oberflächenanalyse. Röntgenphotoelektronenspektroskopie. Verfahren zur Beurteilung der täglichen Leistung eines Röntgen-Photoelektronenspektrometers
BS ISO 21270:2005 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronen- und Auger-Elektronenspektrometer – Linearität der Intensitätsskala
BS ISO 16129:2012 Chemische Oberflächenanalyse. Röntgenphotoelektronenspektroskopie. Verfahren zur Beurteilung der täglichen Leistung eines Röntgen-Photoelektronenspektrometers
BS ISO 15470:2005 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Beschreibung ausgewählter instrumenteller Leistungsparameter
BS ISO 15470:2017 Chemische Oberflächenanalyse. Röntgenphotoelektronenspektroskopie. Beschreibung ausgewählter instrumenteller Leistungsparameter
BS ISO 24237:2005 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Wiederholbarkeit und Konstanz der Intensitätsskala
BS ISO 19318:2005 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Berichterstattung über Methoden zur Ladungskontrolle und Ladungskorrektur
BS ISO 21270:2004 Chemische Oberflächenanalyse. Röntgenphotoelektronen- und Auger-Elektronenspektrometer. Linearität der Intensitätsskala
BS ISO 19668:2017 Chemische Oberflächenanalyse. Röntgenphotoelektronenspektroskopie. Schätzung und Meldung von Nachweisgrenzen für Elemente in homogenen Materialien
BS ISO 19318:2021 Chemische Oberflächenanalyse. Röntgenphotoelektronenspektroskopie. Berichterstattung über Methoden zur Ladungskontrolle und Ladungskorrektur
BS ISO 20289:2018 Chemische Oberflächenanalyse. Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse von Wasser
20/30423741 DC BS ISO 19318. Chemische Oberflächenanalyse. Röntgenphotoelektronenspektroskopie. Berichterstattung über Methoden zur Ladungskontrolle und Ladungskorrektur

International Organization for Standardization (ISO), Röntgenoberflächenanalyse

ISO 10810:2019 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Richtlinien für die Analyse
ISO 10810:2010 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Richtlinien für die Analyse
ISO 15472:2010 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektrometer – Kalibrierung von Energieskalen
ISO 15472:2001 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektrometer – Kalibrierung von Energieskalen
ISO 13424:2013 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Berichterstattung über Ergebnisse der Dünnschichtanalyse
ISO/TR 18392:2005 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Verfahren zur Hintergrundbestimmung
ISO/CD TR 18392:2023 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Verfahren zur Hintergrundbestimmung
ISO 14701:2018 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Messung der Siliziumoxiddicke
ISO 14701:2011 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Messung der Siliziumoxiddicke
ISO 15470:2017 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Beschreibung ausgewählter instrumenteller Leistungsparameter
ISO 16243:2011 Chemische Oberflächenanalyse – Aufzeichnung und Berichterstattung von Daten in der Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (XPS)
ISO 16129:2018 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgen-Photoelektronenspektroskopie – Verfahren zur Beurteilung der täglichen Leistung eines Röntgen-Photoelektronenspektrometers
ISO 16129:2012 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgen-Photoelektronenspektroskopie – Verfahren zur Beurteilung der täglichen Leistung eines Röntgen-Photoelektronenspektrometers
ISO 15470:2004 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Beschreibung ausgewählter instrumenteller Leistungsparameter
ISO 24237:2005 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Wiederholbarkeit und Konstanz der Intensitätsskala
ISO 21270:2004 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronen- und Auger-Elektronenspektrometer – Linearität der Intensitätsskala
ISO 19318:2004 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Berichterstattung über Methoden zur Ladungskontrolle und Ladungskorrektur
ISO 19318:2021 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Berichterstattung über Methoden zur Ladungskontrolle und Ladungskorrektur
ISO/CD 5861 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Methode der Intensitätskalibrierung für monochromatische Al Kα XPS-Instrumente mit Quarzkristall
ISO/DIS 5861:2023 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Methode der Intensitätskalibrierung für monochromatische Al Kα XPS-Instrumente mit Quarzkristall
ISO 19668:2017 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Schätzung und Meldung von Nachweisgrenzen für Elemente in homogenen Materialien
ISO 20289:2018 Chemische Oberflächenanalyse – Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse von Wasser
ISO 22581:2021 Chemische Oberflächenanalyse – Informationen nahezu in Echtzeit aus dem Röntgenphotoelektronenspektroskopie-Durchmusterungsscan – Regeln zur Identifizierung und Korrektur von Oberflächenverunreinigungen durch kohlenstoffhaltige Substanzen

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China, Röntgenoberflächenanalyse

GB/T 30704-2014 Chemische Oberflächenanalyse.Röntgenphotoelektronenspektroskopie.Richtlinien für die Analyse
GB/Z 32490-2016 Verfahren zur Bestimmung des Hintergrunds mittels Röntgenphotoelektronenspektroskopie für die chemische Oberflächenanalyse
GB/T 22571-2008 Chemische Oberflächenanalyse.Röntgenphotoelektronenspektrometer.Kalibrierung von Energieskalen
GB/T 28892-2012 Chemische Oberflächenanalyse.Röntgenphotoelektronenspektroskopie.Beschreibung ausgewählter instrumenteller Leistungsparameter
GB/T 28633-2012 Chemische Oberflächenanalyse.Röntgenphotoelektronenspektroskopie.Wiederholbarkeit und Konstanz der Intensitätsskala
GB/T 21006-2007 Chemische Oberflächenanalyse.Röntgenphotoelektronen- und Auger-Elektronenspektrometer.Linearität der Intensitätsskala
GB/T 25185-2010 Chemische Oberflächenanalyse.Röntgenphotoelektronenspektroskopie.Berichterstattung über Methoden zur Ladungskontrolle und Ladungskorrektur
GB/T 42360-2023 Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzspektroskopische Analyse von Wasser für die chemische Oberflächenanalyse

Association Francaise de Normalisation, Röntgenoberflächenanalyse

NF X21-071:2011 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Richtlinien für die Analyse.
NF X21-055:2006 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektrometer – Kalibrierung von Energieskalen.
NF X21-073*NF ISO 16243:2012 Chemische Oberflächenanalyse – Aufzeichnung und Berichterstattung von Daten in der Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (XPS).
NF ISO 16243:2012 Chemische Analyse von Oberflächen – Datenprotokollierung und Berichterstattung durch Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (XPS).

未注明发布机构, Röntgenoberflächenanalyse

DIN ISO 15472 E:2019-09 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektrometer – Kalibrierung von Energieskalen
DIN ISO 16129 E:2020-01 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgen-Photoelektronenspektroskopie – Verfahren zur Beurteilung der täglichen Leistung eines Röntgen-Photoelektronenspektrometers
BS ISO 21270:2004(2010) Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronen- und Auger-Elektronenspektrometer – Linearität der Intensitätsskala

Korean Agency for Technology and Standards (KATS), Röntgenoberflächenanalyse

KS D ISO 14706-2003(2018) Chemische Oberflächenanalyse – Messung von Oberflächenelementverunreinigungen auf Siliziumwafern mittels Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzspektrometer
KS D ISO 15472-2003(2018) Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Kalibrierung der Energieskala
KS D ISO 15472:2003 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektrometer – Kalibrierung von Energieskalen
KS D ISO 15470-2005(2020) Chemische Oberflächenanalyse – Röntgen-Photoelektronenspektroskopie – Beschreibung ausgewählter instrumenteller Leistungsparameter
KS D ISO 15470:2005 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgen-Photoelektronenspektroskopie – Beschreibung ausgewählter instrumenteller Leistungsparameter
KS D ISO 19318-2005(2020) Chemische Oberflächenanalyse – Röntgen-Photoelektronenspektroskopie – Berichterstattung über Methoden zur Ladungskontrolle und Ladungskorrektur
KS D ISO 21270:2005 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronen- und Auger-Elektronenspektrometer – Linearität der Intensitätsskala
KS D ISO 19318:2005 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgen-Photoelektronenspektroskopie – Berichterstattung über Methoden zur Ladungskontrolle und Ladungskorrektur
KS D ISO 21270-2005(2020) Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronen- und Auger-Elektronenspektrometer – Linearität der Intensitätsskala
KS M 0043-2009 Allgemeine Regeln für die röntgendiffraktometrische Analyse
KS D ISO 14706:2003 Chemische Oberflächenanalyse – Bestimmung der Oberflächenelementkontamination auf Siliziumwafern durch Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzspektroskopie (TXRF).

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会, Röntgenoberflächenanalyse

GB/T 36401-2018 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Berichterstattung über Ergebnisse der Dünnschichtanalyse
GB/T 40110-2021 Chemische Oberflächenanalyse – Bestimmung der Oberflächenelementkontamination auf Siliziumwafern durch Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzspektroskopie (TXRF).

KR-KS, Röntgenoberflächenanalyse

KS D ISO 14706-2003(2023) Chemische Oberflächenanalyse – Messung von Oberflächenelementverunreinigungen auf Siliziumwafern mittels Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzspektrometer
KS D ISO 15472-2003(2023) Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Kalibrierung der Energieskala

Japanese Industrial Standards Committee (JISC), Röntgenoberflächenanalyse

JIS K 0145:2002 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektrometer – Kalibrierung von Energieskalen
JIS K 0152:2014 Chemische Oberflächenanalyse.Röntgenphotoelektronenspektroskopie.Wiederholbarkeit und Konstanz der Intensitätsskala
JIS K 0162:2010 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Beschreibung ausgewählter instrumenteller Leistungsparameter
JIS K 0181:2021 Chemische Oberflächenanalyse – Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse von Wasser

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会, Röntgenoberflächenanalyse

GB/T 22571-2017 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektrometer – Kalibrierung von Energieskalen
GB/T 33502-2017 Chemische Oberflächenanalyse – Aufzeichnung und Berichterstattung von Daten in der Röntgenphotoelektronenspektroskopie (XPS)

Standard Association of Australia （SAA）, Röntgenoberflächenanalyse

AS ISO 15472:2006 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektrometer – Kalibrierung von Energieskalen
AS ISO 15470:2006 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Beschreibung ausgewählter instrumenteller Leistungsparameter
AS ISO 24237:2006 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Wiederholbarkeit und Konstanz der Intensitätsskala
AS ISO 19318:2006 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Berichterstattung über Methoden zur Ladungskontrolle und Ladungskorrektur

German Institute for Standardization, Röntgenoberflächenanalyse

DIN ISO 15472:2020-05 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektrometer – Kalibrierung von Energieskalen (ISO 15472:2010); Text auf Englisch
DIN ISO 16129:2020-11 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgen-Photoelektronenspektroskopie – Verfahren zur Beurteilung der täglichen Leistung eines Röntgen-Photoelektronenspektrometers (ISO 16129:2018); Text auf Englisch
DIN ISO 15472:2020 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektrometer – Kalibrierung von Energieskalen (ISO 15472:2010); Text auf Englisch
DIN ISO 16129:2020 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgen-Photoelektronenspektroskopie – Verfahren zur Beurteilung der täglichen Leistung eines Röntgen-Photoelektronenspektrometers (ISO 16129:2018); Text auf Englisch

RU-GOST R, Röntgenoberflächenanalyse

GOST R ISO 16243-2016 Staatliches System zur Gewährleistung der Einheitlichkeit der Messungen. Oberflächenchemische Analyse. Aufzeichnung und Berichterstattung von Daten in der Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (XPS)

PT-IPQ, Röntgenoberflächenanalyse

E E 14-1971 Röntgenbeugungsanalyse