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X線表面分析

X線表面分析は全部で 88 項標準に関連している。

X線表面分析 国際標準分類において、これらの分類：分析化学、光学および光学測定、長さと角度の測定。

British Standards Institution (BSI), X線表面分析

BS ISO 13424:2013 表面化学分析・X線分光分析・薄膜分析レポート
BS ISO 10810:2019 表面化学分析 X 線光電子分光分析ガイド
BS ISO 10810:2010 表面化学分析、X線光電子分光分析、分析ガイド
BS ISO 15472:2010 表面化学分析、X線光電子分光計、エネルギー準位の校正
BS ISO 14701:2018 表面化学分析 X線光電子分光分析シリコン酸化膜厚測定
BS ISO 14701:2011 表面化学分析、X線光電子分光法、シリカ厚さ測定
BS ISO 16243:2011 表面化学分析 X 線光電子分光法 (XPS) によるデータの記録と報告
BS ISO 16129:2018 表面化学分析 X 線光電子分光法 X 線光電子分光装置の日常的な性能評価手順
BS ISO 21270:2005 表面化学分析、X 線光電子およびオージェ電子分光計、強度スケールの直線性
BS ISO 16129:2012 表面化学分析 X 線光電子分光法 X 線光電子分光装置の日常的な性能評価手順
BS ISO 15470:2005 表面化学分析、X 線光電子分光法、選択された機器性能パラメーターの説明
BS ISO 15470:2017 表面化学分析、X 線光電子分光法、選択された機器性能パラメーターの説明
BS ISO 24237:2005 表面化学分析、X線光電子分光法、強度スケールの再現性と安定性
BS ISO 19318:2005 表面化学分析、X線光電子分光法、帯電制御・帯電補正方法に関する報告
BS ISO 21270:2004 表面化学分析 X 線光電子分光計およびオージェ電子分光計の強度スケールの直線性
BS ISO 19668:2017 表面化学分析 X 線光電子分光法均質材料における元素検出限界の推定と報告
BS ISO 19318:2021 表面化学分析 X 線光電子分光法による電荷制御および電荷補正方法のレポート
BS ISO 20289:2018 表面化学分析水の全反射蛍光X線分析
20/30423741 DC BS ISO 19318 表面化学分析 X 線光電子分光法による電荷制御および電荷補正方法の報告

International Organization for Standardization (ISO), X線表面分析

ISO 10810:2019 表面化学分析 - X 線光電子分光分析ガイド
ISO 10810:2010 表面化学分析、X線光電子分光法、分析ガイドライン
ISO 15472:2010 表面化学分析、X線光電子分光装置、エネルギースケール校正
ISO 15472:2001 表面化学分析 X線光電子分光計のエネルギースケール校正
ISO 13424:2013 表面化学分析―X線光電子分光法、薄膜分析結果報告
ISO/TR 18392:2005 表面化学分析、X 線光電子分光法、バックグラウンド測定手順
ISO/CD TR 18392:2023 表面化学分析 X 線光電子分光法バックグラウンド測定手順
ISO 14701:2018 表面化学分析 - X線光電子分光法 - シリコン酸化膜厚測定
ISO 14701:2011 表面化学分析、X 線光電子分光法、二酸化ケイ素の厚さの測定。
ISO 15470:2017 表面化学分析、X 線光電子分光法、機器の性能パラメーターの説明
ISO 16243:2011 表面化学分析 X 線光電子分光法 (XPS) によるデータの記録と報告
ISO 16129:2018 表面化学分析 - X 線光電子分光法 - X 線光電子分光計の日常的な性能を評価する方法
ISO 16129:2012 表面化学分析 X 線光電子分光法 X 線光電子分光装置の日常的な性能評価手順
ISO 15470:2004 表面化学分析、X 線光電子分光法、選択された機器性能パラメーターの説明
ISO 24237:2005 表面化学分析、X線光電子分光法、強度の再現性と安定性
ISO 21270:2004 表面化学分析 X線光電子分光装置とオージェ電子分光装置強度スケールの直線性
ISO 19318:2004 表面化学分析、X線光電子分光法、帯電制御・帯電補正方法に関する報告
ISO 19318:2021 表面化学分析、X線光電子分光法、帯電制御・帯電補正方法に関する報告
ISO/CD 5861 表面化学分析 X線光電子分光法水晶単色AlKa XPS装置強度校正法
ISO/DIS 5861:2023 表面化学分析 X線光電子分光法水晶単色Al Kα XPS装置強度校正法
ISO 19668:2017 表面化学分析、X 線光電子分光法、均質材料の元素検出限界の推定と報告。
ISO 20289:2018 表面化学分析 - 水の全反射蛍光X線分析
ISO 22581:2021 表面化学分析 X 線光電子分光法による測定とスキャンほぼリアルタイムの情報炭素質化合物の表面汚染の特定と修正ルール

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China, X線表面分析

GB/T 30704-2014 表面化学分析 X 線光電子分光分析ガイド
GB/Z 32490-2016 表面化学分析のためのX線光電子分光法を使用したバックグラウンド測定手順
GB/T 22571-2008 表面化学分析 X線光電子分光装置エネルギースケールの校正
GB/T 28892-2012 表面化学分析 X 線光電子分光法選択された機器の性能パラメーターの表現
GB/T 28633-2012 表面化学分析、X 線光電子分光法、強度スケールの再現性と一貫性
GB/T 21006-2007 表面化学分析 X 線光電子分光計およびオージェ電子分光計の強度スケールの直線性
GB/T 25185-2010 表面化学分析、X線光電子分光法、帯電制御・帯電補正方法に関する報告
GB/T 42360-2023 水の表面化学分析全反射蛍光X線分光分析

Association Francaise de Normalisation, X線表面分析

NF X21-071:2011 表面化学分析、X線光電子分光法、分析ガイドライン
NF X21-055:2006 表面化学分析、X線光電子分光装置、エネルギースケール校正
NF X21-073*NF ISO 16243:2012 表面化学分析 X 線光電子分光法 (XPS) によるデータの記録と報告
NF ISO 16243:2012 表面化学分析 X 線光電子分光法 (XPS) でのデータロギングとレポート

未注明发布机构, X線表面分析

DIN ISO 15472 E:2019-09 表面化学分析 - X線光電子分光計 - エネルギースケールの校正
DIN ISO 16129 E:2020-01 表面化学分析 - X 線光電子分光法 - X 線光電子分光計の日常的なパフォーマンスを評価する手順
BS ISO 21270:2004(2010) 表面化学分析X線光電子分光装置およびオージェ電子分光装置強度スケールの直線性

Korean Agency for Technology and Standards (KATS), X線表面分析

KS D ISO 14706-2003(2018) 表面化学分析 – 全反射蛍光X線分析装置によりシリコンウェーハ表面の元素不純物を測定
KS D ISO 15472-2003(2018) 表面化学分析-X線光電子分光装置-エネルギースケール補正
KS D ISO 15472:2003 表面化学分析、X線光電分光装置、エネルギースケールの校正
KS D ISO 15470-2005(2020) 表面化学分析用のX線光電子分光計のいくつかの性能パラメータの説明
KS D ISO 15470:2005 表面化学分析、X 線光電子分光法、選択された機器性能パラメーターの説明
KS D ISO 19318-2005(2020) 表面化学分析 X線光電子分光法帯電制御・帯電補正法レポート
KS D ISO 21270:2005 表面化学分析 X線光電子分光装置とオージェ電子分光装置強度スケールの直線性
KS D ISO 19318:2005 表面化学分析、X線光電子分光法、帯電制御・帯電補正方法に関する報告
KS D ISO 21270-2005(2020) 表面化学分析 X線光電子分光装置およびオージェ電子分光装置の強度スケールの直線性
KS M 0043-2009 X線回折分析
KS D ISO 14706:2003 表面化学分析全反射蛍光X線分析法を使用したシリコンウェーハ表面の主な汚染物質の測定

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会, X線表面分析

GB/T 36401-2018 表面化学分析報告書 X線光電子分光法による薄膜分析結果
GB/T 40110-2021 表面化学分析全反射蛍光 X 線分析 (TXRF) によるシリコンウェーハ表面の元素汚染の測定

KR-KS, X線表面分析

KS D ISO 14706-2003(2023) 表面化学分析 – 全反射蛍光X線分析装置によりシリコンウェーハ表面の元素不純物を測定
KS D ISO 15472-2003(2023) 表面化学分析・X線光電子分光装置・エネルギースケールの校正

Japanese Industrial Standards Committee (JISC), X線表面分析

JIS K 0145:2002 表面化学分析 X線光電子分光装置エネルギースケールの校正
JIS K 0152:2014 表面化学分析 X 線光電子分光分析強度スケールの再現性と一貫性
JIS K 0162:2010 表面化学分析、X 線光電子分光法、選択された機器性能パラメーターの説明
JIS K 0181:2021 表面化学分析水の全反射蛍光X線分析

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会, X線表面分析

GB/T 22571-2017 表面化学分析用X線光電子分光装置のエネルギースケールの校正
GB/T 33502-2017 表面化学分析のための X 線光電子分光法 (XPS) データの記録とレポートの仕様要件

Standard Association of Australia （SAA）, X線表面分析

AS ISO 15472:2006 表面化学分析。 X線光電子分光法。エネルギースケールの校正
AS ISO 15470:2006 表面化学分析。 X線光電子分光法。選択した機器のパフォーマンスパラメータの説明
AS ISO 24237:2006 表面化学分析。 X線光電子分光法。強度スケールの再現性と一定性
AS ISO 19318:2006 表面化学分析。 X線光電子分光法。充電制御および充電調整の報告方法

German Institute for Standardization, X線表面分析

DIN ISO 15472:2020-05 表面化学分析 - X 線光電子分光計 - エネルギースケール校正 (ISO 15472:2010)
DIN ISO 16129:2020-11 表面化学分析 X 線光電子分光法 X 線光電子分光装置の日常的な性能評価手順
DIN ISO 15472:2020 表面化学分析用 X 線光電子分光計のエネルギー標準の校正 (ISO 15472:2010)、英語テキスト
DIN ISO 16129:2020 表面化学分析 X 線光電子分光法 - X 線光電子分光計の日常的な性能を評価する手順 (ISO 16129-2018)、英語テキスト

RU-GOST R, X線表面分析

GOST R ISO 16243-2016 測定の一貫性を確保するための国家システム表面化学分析 X 線光電子分光法 (XPS) データの記録と報告

PT-IPQ, X線表面分析

E E 14-1971 X線回折分析