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参考报价: | 面议 | 型号: | E200P 双反应腔+6路进气口 |
品牌: | 原速科技 | 产地: | 广东 |
关注度: | 2 | 信息完整度: | |
样本: | 典型用户: | 暂无 | |
供应商性质 | 生产商 | 产地类别 | 国产 |
价格范围 | 100万-200万 |
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Exploiter E200P原子层沉积系统(粉末颗粒包裹反应腔)是原速科技自主开发的新一代智能化ALD研发系统,可在平面衬底、粉末颗粒表面、高深宽比结构及其他复杂三维结构上沉积薄膜。
原子层沉积系统 E200P广泛适用于纳米材料、微机电系统、催化剂、生物膜材料及光电材料等领域,其特点在于:
双反应腔:Φ200mm + 粉末颗粒包裹腔
6路进气口:3路前驱体源 + 3路反应气源
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注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途