Nanoscope system NS3600 三维激光共聚焦显微镜 NS3600

NS3600是一款性能可靠的三维激光共聚焦显微镜，适用于实验室使用。它采用直接算法，可以从光学切片图像中得出目标物体的三维形态，将截面图像转换为三维轮廓数据。这种独特的原始横截面图像具有直观描述，使得表面轮廓数据比其他光学技术更优越。

性能及优势：

- 高分辨率非破坏性光学三维测量

- 实时共焦成像

- 多种光学变焦同时进行

- 亮场和共焦成像

- 自动获取最佳聚焦位置

- 倾斜补偿

- 简易分析模块

- 精确可靠的高速高度测量

- 通过半透明基板检测特征

- 无需样品准备

- 大范围图像拼接检测


应用领域：

NS-3600可用于测量高度、宽度、角度、面积和体积，例如：

- 半导体：IC图形，凹凸高度，线圈高度，缺陷检测，CMP工艺

- FPD产品：触摸屏幕检测，ITO图案，LCD柱间距高度

- MEMS器件：结构三维轮廓，表面粗糙度，MEMS图形

- 玻璃表面：薄膜太阳能电池，太阳能电池纹理，激光图案

- 材料研究：模具表面检测，粗糙度，裂纹分析


规格：

型号：Microscope NS-3600

- 物镜倍率：10x、20x、50x、100x

- 计量范围：水平(H)：μm 1400、700、280、140、垂直(V)：μm 1050、525、261、105

- 数值孔径(N.A.)：0.30、0.46、0.80、0.95

- 光学系统：针孔共聚焦光学系统

- 高度测量范围：10mm

- 显示分辨率：0.001μm

- 重复率σ：0.02μm

- 宽度测量显示分辨率：0.001μm

- 重复率3σ：0.03μm

- 帧记忆像素：1024x1024、1024x768、1024x384、1024x192、1024x96

- 单色图像：12bit、彩色图像：8-bit forRGB each

- 高度测量：16bit

- 帧速率表面扫描：20Hz to 160Hz

- 线扫描：~8kHz

- 激光接收元件：PMT(光电倍增管)

- 光源灯：LED

- 照相机成像元件：彩色图像CCD传感器

- 记录分辨率：1296x966

- 数据处理单元：专用PC

- 电源电压：100 to 240VAC, 50/60Hz

- 电流消耗：500VA max.

- 重量：显微镜约50kg（测量头约12kg）、控制器约8kg

- 隔振系统：气浮隔振（可选）

- 注1：100次测量标准样品（1μm高度）100x/0.9物镜

- 注2：100次测量标准样品（5μm间距）100×/0.9物镜

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