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上海瞬渺光电技术有限公司
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| 参考报价： | 面议 | 型号： | - |
| 品牌： | 半球 | 产地： | 日本 |
| 关注度： | 14 | 信息完整度： | |
| 样本： | 典型用户： | 暂无 | |
| 供应商性质 | 总代理 | 产地类别 | 进口 |
400-6699-117转1000
产品特点：
? 薄膜到厚膜的测量范围、UV～NIR光谱分析。
? 高性能的低价光学薄膜测量仪。
? 藉由绝对反射率光谱分析膜厚。
? 完整继承FE-3000高端机种90%的强大功能。
? 无复杂设定，操作简单，短时间内即可上手。
? 非线性最小平方法解析光学常数(n:折射率、k:消光系数)。
产品规格：
| 型号 | FE-300V | FE-300UV | FE-300NIR | |
| 对应膜厚 | 标准型 | 薄膜型 | 厚膜型 | 超厚膜型 |
| 样品尺寸 | 最大8寸晶圆（厚度5mm） | |||
| 膜厚范围 | 100nm~40μm | 10nm~20μm | 3μm~30μm | 15μm~1.5mm |
| 波长范围 | 450nm~780nm | 300nm~800nm | 900nm~1600nm | 1470nm~1600nm |
| 膜厚精度 | ±0.2nm以内 | ±0.2nm以内 | - | - |
| 重复再现性(2σ) | 0.1nm以内 | 0.1nm以内 | - | - |
| 测量时间 | 0.1s～10s以内 | |||
| 测量口径 | 约Φ3mm | |||
| 光源 | 卤素灯 | UV用D2灯 | 卤素灯 | 卤素灯 |
| 通讯界面 | USB | |||
| 尺寸重量 | 280（W）×570（D）×350（H）mm，约24kg | |||
| 软件功能 | ||||
| 标准功能 | 波峰波谷解析、FFT解析、最适化法解析、最小二乘法解析 | |||
| 选配功能 | 材料分析软件、薄膜模型解析、标准片解析 |
应用范围：
? 半导体晶圆膜(光阻、SOI、SiO2等)
? 光学薄膜(OC膜、AR膜、ITO、IZO膜等)
应用范例：
? PET基板上的DLC膜
? Si基板上的SiNx
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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
