帕克 NX20 300 mm 原子力显微镜 电气和磁故障分析

技术参数

扫描器

XY扫描器

闭环控制XY平板扫描器

扫描范围：100μm x 100μm

50μm x 50μm

25μm x 25μm

20位位置控制和24位位置传感器

Z扫描器

导向强力Z扫描器

扫描范围：15μm

30μm

20位位置控制和24位位置传感器

视场&CCD

同轴光源设计

10倍光学物镜和数码放大

光学物镜视场：840μm x 630μm

CCD：5MP

光学物镜

10X(0.21 NA)超长工作距离镜头的物镜

20X(0.42 NA)高分辨率，长工作距离镜头的物镜

软件

SmartScan

专用系统控制和数据采级软件

智能扫描模式

通过外部程序控制脚本级别(选配)

NXI

AFM数据分析软件

电性能

信号处理

ADC:18通道

ADC通道(64MSPS)

24-bits ADC的X,Y和Z扫描器位置传感器

DAC:12通道

ADC通道(64MSPS)

20bits DAC的X,Y和Z扫描器定位

最大数据量:4096X4096像素

集成功能

3通道数字锁相放大器

探针弹性系数校准(热方法)

数据Q控制

外部信号访问

20个嵌入式舒输入/舒出口

5个TTL输出：EOF,EPL,EOP,Modulation and AC bias

选项/模式

成像模式

■真正非接触模式

■接触模式

■侧向摩擦力显微术(LFM)

■相位成像

■轻敲模式

电学特性测量

■扫描电容显微镜(SCM)

■导电原子力显微镜

■静电力显微镜(EFM)

■压电力显微镜(PFM)

■扫描开尔文探针显微镜(SKPM/KPM)

■压电力显微镜PFM

一般特性

■磁力显微镜(MFM)

■扫描热感显微镜(SThM)

■力一距离(F-D)曲线

■扫描隧道显微镜(STM)

■力调制显微镜(FMN)

■纳米压痕

■纳米刻蚀

■纳米操控

选项

■样品基座

■具有温控性能的隔音罩

■液体探手

■液池

■温控台

■外部偏置模块

■信号获取模块

运动位移平台

XY行程范围：150mm(200mm选配)

Z行程范围：25mm

XY载台马达位移机械分辨率为1μm,重复率为2μm

Z向马达位移机械分辨率为0.1μm,重复率为1μm

样品基座

样品最大尺寸：150mm(200mm选配)

真空样品吸附

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途