Park帕克原子力显微镜
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专为大样品晶圆检测而建NX20 300 mm进行了全新设计,可达到大样品的高精度测量。整个300mm晶圆区域可进行低噪声原子力显微镜测量分析。这开启了一个全新的......
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Park NX20AFM技术行业领先的低噪声Z轴探测器超低噪声Z探测器,噪音水平低于0.02nm,从而达成非常精准样品形貌成像,没有边沿过冲无须校准。......
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技术参数扫描器XY扫描器闭环控制XY平板扫描器扫描范围:100μm x 100μm50μm x 50μm25μm x 25μm20位位置控制和24位位置传感器Z......
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Park NX20缺陷分析的最佳选择 作为一款缺陷形貌分析的精密测量仪器,其主要目的是对样品进行缺陷检测。而仪器所提供的数据不能允许任何错误......
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 在高真空条件下执行扫描扩散电阻显微镜测量可减少所需的针尖-样本相互作用力,从而大幅度降低对样本和针尖的损伤。如此可延长各针尖的使用寿命,使扫描更加低......
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