Park帕克原子力显微镜
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park NX20业界领先的针对失效分析和大样本研究的原子力显微镜

发布时间: 2022-04-24 11:09 来源: Park帕克原子力显微镜
领域: 电子/电器/半导体,纳米材料
样品:半导体项目:表明测量

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park NX20业界领先的针对失效分析和大样本研究的原子力显微镜

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FA和研究实验室提供精确的原子力显微镜解决方案

介质和基底的表面粗糙度测量 缺陷检测成像和分析 高分辨率电学扫描模式 针对三维结构研究的侧壁测量*

实现高量率的精确且高重复性的测量

非接触模式能够保持针尖锐度,确保表面粗糙度的精度 非接触模式下的快速缺陷成像 实现三维结构测量的解耦XY扫描系统 通过使用热匹配组件减少系统漂移和滞后现象

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