帕克 NX20 原子力显微镜 生物研究

引领用于故障分析和大型样品研究的纳米计量工具

作为一款缺陷形貌分析的精密测量仪器，其主要目的是对样品进行缺陷检测。而仪器所提供的数据不能允许有错误的存在。Park NX20，这款高精密的大型样品原子力显微镜，凭借着数据的准确性，在半导体和硬盘行业中大受赞扬。

全面多样的分析功能

Park NX20可快速帮助客户找到产品失效的原因，并帮助客户制定出更多具有创意的解决方案。高精密度可为用户带来高分辨率数据，让用户能够更加专注于工作。与此同时，非接触扫描模式让探针针尖更锋利、更耐用，无需为频繁更换探针而耗费大量的时间和金钱。

即便是刚接触原子显微镜的工程师也易于操作

Park NX20拥有业界便捷的设计和自动界面，让你在使用时无需花费大量的时间和精力，也不用为此而时时不停的指导初学者。借助这一系列特点，您可以更加专注于解决更为重大的问题，并为客户提供及时且富有洞察力的失效分析报告。

Park NX20技术参数

扫描器

Z扫描器

柔性引导高推动力扫描器

扫描范围: 15 µm (可选 30 µm)
高度信号噪声等级: 30 pm
(RMS, at 0.5 kHz带宽)

XY扫描器

闭环控制的柔性引导XY扫描器

扫描范围: 100 µm × 100 µm
(可选 50 µm × 50 µm)

驱动台

Z位移台行程范围 : 25 mm (Motorized)
聚焦样品台行程范围 : 15 mm (Motorized)
XY位移台行程范围 : 150 mm x 150 mm (Motorized)

样品架

样品尺寸 : 基本配置开放空间 up to150 mm x 150 mm,厚度 up to 20 mm (可选，可扩展到 200 mm x 200 mm)
样品重量 : < 500 g

光学

10倍 (0.23 N.A.)超长工作距离镜头 (1µm分辨率)
样品表面和悬臂的直观同轴影像
视野 : 840 × 630 µm (带10倍物镜)
CCD : 100万像素, 500万像素 (可选)

软件

SmartScan™

AFM系统控制和数据采集的专用软件
智能模式的快速设置和简易成像
手动模式的高级使用和更精密的扫描控制

XEI

AFM数据分析软件

电子

集成功能
4通道数字锁相放大器
数据Q控制

信号处理

• ADC : 18 channels 4 high-speed ADC channels 24-bit ADCs for X, Y and Z scanner position sensor

• DAC : 17 channels 2 high-speed DAC channels 20-bit DACs for X, Y and Z scanner positioning

• Maximum data size : 4096 x 4096 pixels

连接外部信号
20个嵌入式输入/输出端口
5个TTL输出 : EOF, EOL, EOP, 调制和交流偏压

AFM模式
(*可选项)

标准成像

真正非接触式原子力显微镜
PinPoint™ 原子力显微镜
接触式原子力显微镜
横向力显微镜(LFM)
相位成像
轻敲式原子力显微镜

力测量

力-距离(F/d)光谱
力谱成像

介电/压电性能

静电力显微镜 (EFM)
动态接触式静电力显微镜 (EFM-DC)
压电力显微镜 (PFM)
高压压电力显微镜*

机械性能

力调制显微镜 (FMM)
纳米压痕*
纳米刻蚀*
高压纳米刻蚀*
纳米操纵*

磁学性能*

磁力显微镜 (MFM)
可调制磁力显微镜

电性能

导电原子力显微镜 (C-AFM)*
IV 谱线*
扫描开尔文探针显微镜 (KPFM)
扫描电容显微镜 (SCM)*
扫描电阻显微镜 (SSRM)*
扫描隧道显微镜 (STM)*
光电流测绘 (PCM)*

化学性能*

功能化探针的化学力显微镜
电化学显微镜 (EC-AFM)

高级选项

为用户量身定制原子力显微镜

自动数据收集和分析，适合工业客户产线测量

Park的自动化控制软件，可根据您的预设程序自动进行AFM测量。它可以准确地收集数据，执行模式识别，并使用它的寻边器和光学模块进行分析，不需要人工介入，从而为您节省大量宝贵时间。

倾斜样品倾角夹具，可帮助您进行样品侧壁成像。

NX20的创新架构实现了对样品侧壁和表面的检测，还能够测量出相应角度。这为您提供了更多的创新研究方案和对样品更深入的理解。

温度稳定的隔音罩

创新的控制设计使Park NX20能够快速达到温度平衡
NX20具有主动隔振功能。

集成编码器的自动载台

• XY马达运动工作时分辨率为1 µm，重复率为2 µm。
• Z马达运动的分辨率为0.1 µm，分辨率为1 µm。

样品盘

• 用于电气测量的专用小样品架
• 用于固定晶圆的真空槽

温度控制

· 温控台 1:  -25 °C to +170 °C
·温控台 2:  Ambient to +250 °C
· 温控台 3:  Ambient to +600 °C

Dimensions in mm

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途