XDV-µ 系列X射线荧光光谱仪（微小结构）

特点

• 功能强大的高级型号，用于最小结构和小于 0.1 µm 的最薄涂层的精确涂层厚度测量和材料分析

• 带钨靶的微聚焦射线管；可选钼靶

• 4种可切换的滤波器

• 极其强大的硅漂移探测器，有效面积为20 mm²或50 mm²，可实现最高精度的薄膜检测

• 内部制造的多毛细管光学元件，最小的测量点可低至 10μm FWHM，测量时间短，强度高

• 数字脉冲处理器DPP+，用于提高计数率，减少测量时间或提高测量结果的重复性

• 分析从 Al(13) 到 U(92) 的元素，可提供氦气吹扫，可同时测量多达24种元素

• 高精度、可编程的 XY 平台，定位精度 < 5 µm，可实现最精确的样品定位和自动图案识别，实现最佳的重复精度

典型的应用领域

• 在非常小的平面元件和结构上进行测量，如印刷电路板、触点或引线框架

• 测量电子和半导体工业的功能涂层

• 分析非常薄的涂层，例如，≤0.1微米的金/钯涂层

• 测定复杂的多涂层结构

• 自动测量，例如在质量控制中

• 轻元素的测量，例如测定Au和Pd下的磷含量（在ENIG/ENEPIG）。

FISCHERSCOPE® XDV®-μ光谱仪是Fischer的高端 X射线荧光 (XRF) 系列，为精确测量最微小结构的膜厚和材料分析而开发。所有设备都配备了多毛细管光学系统，能将X射线光束聚焦到10 μm FWHM。多毛细管和数字脉冲处理器DPP+的组合提供了出色的测量结果，确保了高计数率和更好的标准偏差或更短的测量时间。此外，各种滤波器以及电压和电流设置可以为多达24个元素的复杂应用提供最佳的激发条件。
所有 Fischer 的 XRF 仪器都配备了成熟的 WinFTM 软件，这是市场上功能最全面的软件。它适用于许多行业和应用，提供广泛的功能，例如自动图案识别、指导校准过程或完全可定制的报告。

为电子工业而优化。测量ENIG和ENEPIG的新水平

新的FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μ带有数字脉冲处理器DPP+，性能显著提升，是测量化学镍/化学金（ENIG）或化学镍/化学钯/化学金（ENEPIG）涂层的最佳解决方案。

XDV-µ 系列X射线荧光光谱仪（微小结构）信息由菲希尔测试仪器（中国）有限公司为您提供，如您想了解更多关于 XDV-µ 系列X射线荧光光谱仪（微小结构）报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途