高温等离子样品台

NANO-MASTER(那诺-马斯特）Platens样品台，使用技术，加热均匀性极高。NANO-MASTER的样平台（或称为基板、热板）可以加入射频偏压、水冷却、通过模块控制700°C范围的温度。基板的高度可调节，基片可旋转，真空腔体内没有任何引线。任何地方不会出现短路或电弧，因为所有引线、电热偶和冷却水管道都保持在大气压下。NM样品台可以直接安装到你的系统中，无论是RIE刻蚀、ICP刻蚀、ALE刻蚀，还是PECVD、ALD等沉积设备中，我们的基板都可以很方便的配套使用。

Platens样品台可应用的设备：

·         RIE反应离子刻蚀机

·         ICP感应耦合等离子刻蚀机

·         ALE原子层刻蚀设备

·         PECVD等离子增强化学气相沉积设备

·         ALD原子层沉积设备

·         其他设备

尺寸：

·         1-12英寸

·         可定制

Platens不同型号对应温度上限：

·         NM-LTP，低温热板，z高可加热到300°C

·         NM-MTP，中温热板，z高可加热到500°C

·         NM-HTP，高温热板，z高可加热到700°C

Different models allow for different temperature limits:

·         NM-LTP - Low Temperature Platen heatable up to 300°C

·         NM-MTP - Mid Temperature Platen heatable up to 500°C

·         NM-HTP - High Temperature Platen heatable up to 700°C

高温等离子样品台信息由那诺-马斯特中国有限公司为您提供，如您想了解更多关于高温等离子样品台报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途