石墨烯生长设备(TCVD) - 配备热壁石英管和LabVIEW自动控制软件。

技术规格如下：

1. 石英管及工艺炉 QUARTZ TUBE & FURNACE
    - Tube Dimensions: ф100*1200mm
    - Furnace Body (WxHxD): 500x500x350
    - Heater: Kanthal Wire w/ Glass Wool Molding
    - Maximum Temperature: 1,100°C
    - Thermocouple: K type, ID 6.5 mm
    - Heating Zone: 1-zone, ф100*350mm
    - Linear Motion Control Unit
    - Manual Furnace Door

2. 气路 GAS SUPPLY UNIT
     - Three (3) Mass Flow Controllers w/ 1% FS Accuracy
        a) Hydrogen (H2), 100sccm

        b) Methane (CH4), 200sccm
        c) Argon (Ar): 1,000sccm
     - Open Mounting Bay for Fourth (4th) MFC
     - 0.25” Stainless Steel Tubing
     - Five (5) 0.25” Pneumatic-Type Diaphragm Valves

3. 真空及压力控制 VACUUM & PRESSURE CONTROL UNIT
     - Convection Gauge

     - Convection Gauge Controller
     - 10 Torr Capacitance Manometer
     - Motor-Geared Throttle Valve
     - Pressure & Flow Controller
     - Oil Rotary Pump (340L/M)

4. 系统控制单元 SYSTEM CONTROL UNIT
     - MS Windows 7 Embedded PC
     - PLC Module with National Inst. LabVIEW Interface
     - 19” LCD Monitor

5. 安全及冷却 SAFETY & COOLING
     - Water Cooled End Flanges
     - Buzzer Alarm & System Error Display
     - Interlock System

6. 设备尺寸及实验室要求 DIMENSIONS & UTILITY REQUIREMENTS
     - Footprint: 1.75m (W) x 1.60m (H) x 0.75m (D)
     - Weight: ~200kg
     - Power: 220V, 50/60Hz, 3Φ, 4-wire, 30A
     - Air: 4-5kgf/cm2, 0.25” tube
     - Water: 2-3kgf/cm2, 0.25” tube

参考用户：

剑桥大学，牛津大学，曼彻斯特大学，莱斯大学，斯坦福大学，新加坡国立大学，东京技术研究所，东京大学，韩国东国大学等...

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途