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上海载德半导体技术有限公司
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| 参考报价： | 面议 | 型号： | LC-100, LC-102 |
| 品牌： | Ecopia | 产地： | 韩国 |
| 关注度： | 53 | 信息完整度： |  |
| 样本： | 典型用户： | 暂无 |
400-6699-117转1000
扩散炉、低压化学气相沉积设备(LPCVD)
产地：韩国；
有单管和双管两个不同的型号，用于科研或者小规模生产。
性能和特点：
- 温度范围：500 ~ 1000摄氏度；
- 气体混合能力(带有质量流量计)；
- 真空范围：~ 10-6 Torr；
典型应用：
- 无应力氮化硅；
- LPCVD；
- 退火；
- 氧化；
- 其他...
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