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纳克微束（北京）有限公司
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| 参考报价： | 250-300万 RMB（人民币） | 型号： | FE-1050系列 |
| 品牌： | 纳克微束 | 产地： | 中国 |
| 关注度： | 467 | 信息完整度： |  |
| 样本： | 典型用户： | 暂无 | |
| 产品类型 | 落地式/传统大型 | 电子枪类型 | 热场发射 |
| 二次电子图象分辨率 | 1.5nm@1kV, 0.9nm@15kV | 放大倍数 | 10x - 1,000,000x |
| 电子光学 | 新一代电子光学镜筒 | 样品台 | 五轴电机驱动，X=140mm，Y=140mm，Z=60mm，R=360°，T=-10°~80° |
| 探测器 | In-Column SE 探测器、ET- SE 探测器、插入式 BSE 探测器（选配）、STEM 探测器（选配）、红外 CCD 主腔室监控-3 路 | 背散射电子图像分辨率 | 2.5nm@1kV, 1.5nm@15kV |
| 加速电压 | 0.02 - 30kV | 电子枪种类 | Schottky场发射型 |
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发布时间：2022年11月
半导体器件失效分析是各大晶圆制造、器件封装工厂最常用的检测分析手段，芯片或器件的失效引发的轻微后果可能是期间寿命不合格，工作稳定性难以保证，严重则可能引发漏电、火灾等危险事件，危及人身财产安全。因此，失效分析的主要目的是借助各类测试、分析技术锁定失效发生的原因，从而为生产环节改进工艺提供依据，甚至可以发现研发环节的设计缺陷，进而为纠正设计错误提供线索，以杜绝器件重复失效，提升器件稳定性。
纳克微束FE-1050热场发射型扫描电镜，具有在1kV落点电压（减速电场）下1.5nm的极限分辨能力，可以对电子束敏感类材料直接成像，最小化对样品的电子辐照损伤。
FE-1050型电子显微镜具有宽大的主腔室和五轴样品台，最大可进入φ300mm*50mm尺寸的样品，内部空间可支持对晶圆尺寸级别样品进行旋转倾斜观察，提升失效分析效率。FE-1050型电子显微镜可支持各类主流第三方探测器，最大探测器接口数达27个，可根据用户分析需求组合成各类失效分析平台，增加失效分析维度。
成像图
FE-1050场发射扫描电子显微镜，国内首款领势旗舰机型。
在新一代电子光学镜筒的加持下，展现低电压、高分辨的卓越性能。
27个端口拓展、大舱室，轻松应对各类成像、分析需求。
极简化操作、自动化交互、智能化特征识别统计，成倍提高工作效率。
终身售后保障，7*24售后响应。
以“质”为先，以“优”为本，助力微观世界的探索与发现。
技术参数与优势
1）低电压下高分辨
2）多达 27 个附件端口数，是目前可扩展性最强的扫描电镜之一
3）大舱室，为适配第三方附件提供便利
4）智能防碰撞
5）一键自动送样
6）自动电子合轴
7）实时聚焦跟踪
纳克微束FE-1050热场发射型扫描电镜，具有在1kV落点电压（减速电场）下1.5nm的极限分辨能力，可以对电子束敏感类材料直接成像，最小化对样品的电子辐照损伤。
FE-1050型电子显微镜具有宽大的主腔室和五轴样品台，内部空间可支持对晶圆尺寸级别样品进行旋转倾斜观察，提升失效分析效率。
FE-1050型电子显微镜可支持各类主流第三方探测器，最大探测器接口数达27个，可根据用户分析需求组合成各类失效分析平台，增加失效分析维度。
型号 | FE-1050系列 | |||
1.电子光学系统 | ||||
电子枪 | Schottky 场发射型 | |||
物镜类型 | 非浸没电磁复合透镜 | |||
加速电压 | 0.02 - 30 kV | |||
束斑电流 | 10pA 至 30nA（100nA 选配） | |||
放大倍数 | 10x - 1,000,000x | |||
分辨率 | SE | 1.5nm(1kV)、0.9nm(15kV) | ||
BSE(选配) | 2.5nm(1kV)、1.5nm(15kV) | |||
STEM | 0.8nm（30kV） | |||
2.真空系统 | ||||
离子泵（IGP） | 25 L/s + 2×20L/s | |||
涡轮分子泵（TMP） | 250 L/s (N2) | |||
前级真空泵 | 15m3/h 机械泵、无油涡旋机械泵（选配） | |||
电子枪真空 | <1.0x10-7 Pa | |||
主样品室极限真空 | <1.0x10-4 Pa | |||
样品室接口数 | 27 个 | |||
预抽室 | 50mm 样品托盘自动送样 4/6 英寸晶圆自动送样（选配） | |||
预抽室光学导航 | ||||
3.样品运动平台 | ||||
样品台行程 | X | 140mm | ||
Y | 140mm | |||
Z | 60mm | |||
R | 连续 360° | |||
T | -10°~80° | |||
重复定位精度 | X/Y/Z≤1um（选配） | |||
样品最大承重 | 5kg | |||
4.图像处理系统 | ||||
最小驻留时间 | 20ns/Pixel | |||
采集方式 | 4 通道同步采集 | |||
最大图像分辨率 | 24k x 24k 像素 | |||
5.数据处理系统 | ||||
CPU | Intel Xeon E5 及以上处理器 | |||
内存 | 32G | |||
显卡 | 显存≥24G，位宽≥384bit | |||
显示器 | 34 英寸超宽屏显示器 | |||
控制台 | 人体工程学可升降操控台 | |||
6.探测器系统 | ||||
检测器（选配） | n斜插式能谱仪（EDS） n平插式能谱仪（Flat-EDS） n波谱仪（WDS） n电子背散射衍射仪（EBSD） n阴极荧光探测器（CL） | |||
附件（选配） | n聚焦离子束（FIB） n原位拉伸加热台/制冷台 n冷冻转移样品仓等第三方附件设备 | |||
贴近用户设计的系统交互操作，最大简化系统操作，即使没有
电镜使用经验的用户也可轻松上手。软硬件结合的智能化操作
流程能够真正将用户从繁琐的重复操作中解放出来。
应用范围广
FE-1050系列扫描电镜广泛应用于材料和生命科学等领域，能够为您提供更高分辨率的图像和更丰富的组织细节；
拓展性强
丰富的拓展附件，比如能谱仪EDS、背散射电子衍射EBSD、电子束感生电流EBIC等，可帮助用户对样品的成分、结构信息有着更全面的了解。
自动化功能丰富
在FE系列专业分析平台上，可通过专用的自动夹杂物分析系统、清洁度和颗粒度自动检测以及矿物自动分析系统，对自身产品建立在线的质量过程控制。您还可以在可变环境下实时观察材料的相互作用；借助自动化工作流程实现高效应用。
设计先进，稳定性更优
FE系列最新电子光学镜筒几何学设计能确保在分析工作条件下达到最佳分辨率。纳克微束电镜在制造加工方面要求非常严格，精湛的制造工艺及加工装配检验工艺，其抗磁、防震、抗噪及密封性能极佳，整体性、稳定性更好。
半导体失效分析 纳克微束高分辨场发射扫描电镜 FE-1050系列 信息由纳克微束（北京）有限公司为您提供，如您想了解更多关于半导体失效分析 纳克微束高分辨场发射扫描电镜 FE-1050系列 报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
