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  • 上海螣芯电子科技有限公司近期主力推出全自动国产光刻机，接触式国产光刻机，主要应用领域MEMS制造、CMOS图像传感器、存储器、声波器件、微流体芯片、化合物半导体、  晶圆级先进封装、（TSV）等领域。提升了生产效率，晶圆尺寸从4寸到12寸可选。技术参数：1．工作方式：装载机械手将晶圆片从 ...... [全文]
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