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RTP快速退火炉-真空快速退火炉-螣芯品牌
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产品描述RTP-150RL 是在保护气氛下的桌面手动快速退火系统，以红外可见光加热单片 Wafer 或样品，工艺时间短，控温精度高，适用 2-6 英寸晶片。相对......
Virgo系列干法等离子体去胶机化合物半导体去胶机
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Virgo系列是适用于硅基半导体及化合物半导体前后道的等离子体去胶设备，可用于光刻胶灰化/残胶去除和表面处理，该系列有两种配置分别兼容4“/6”/8“或8“/1......
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