阴极荧光（CL）全晶圆工业阴极荧光CL-SEM系统Attolight

Attolight定量CL-SEM系统提供大视场快速扫描，并同时获取SEM图像、高光谱CL图像和光学光谱。晶圆直径较小，或衬底形状复杂时，可手动加载到300mm中间感受器上，然后仪器将自动进行处理。
Säntis300全晶圆工业CL-SEM系统可全自动控制150、200和300毫米晶圆，其优点包括：1、晶圆尺寸可达300毫米；2、高效的CL-SEM扫描成像效率；3、电镜成像和光学信号采集同时进行；4、边缘检测和晶圆准确定位（精度优于10µm）；5、自动映射和调整晶圆翘曲度。
特点：Säntis300系统提供3种不同的采集模式，可根据不同的需求和应用进行定制：
•面扫描模式（FWBrush模式）
•线扫描模式（AWPix模式）
•多点扫描模式
工业市场应用：1、GaN及其应用：高强度LED对高发射效率和高可靠性要求较高，如汽车应用中LED故障会危及人身安全；UVCLED要求高发射效率和均匀性，LED故障可危及生命，例如在灭菌和消毒应用中。2、光子学：激光光子学；3、电力电子应用GaN：电力电子应用需要更大功率、更小和更轻的包装，如物联网或汽车应用。4、II-VI族材料：GaAs及其应用如太阳能、电力电子；SiC电力电子；µLED。其他应用举例：微观结构发光二极管（MicroLed）、LED质量控制、GaN中的螺纹位错缺陷计数、碳化硅衬底质量控制。

阴极荧光（CL）全晶圆工业阴极荧光CL-SEM系统Attolight信息由北京正通远恒科技有限公司为您提供，如您想了解更多关于阴极荧光（CL）全晶圆工业阴极荧光CL-SEM系统Attolight报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途