产品简介

Magma磁场成像显微镜系统（简称Magma）是Neocera Magma公司研发的一种新型半导体失效分析工具。它拥有一套独特的传感器和技术，可以检测和定位所有静态缺陷

Magma具有极大的可靠性，适用于探测开路、短路、漏电和高电阻开路的位置。此外，磁场成像可用于生成3D故障分析的深度信息，甚至可以用于多层器件

在半导体失效分析领域，Magma可以定位微电子系统中的所有静态缺陷（短路、漏电和开路）。它可以容纳Die-level互连的300毫米晶圆、最/终封装的PC板、以及所有类型的封装器件，包括各种具有异质集成的多芯片模块器件、叠层器件、3DICs和SiP。

新型平台的设计使用了终端用户的输入，以提供用户友好型的设置和操作，以及更高的工作量和更低的运营成本。

基础配置：配备高灵敏度的SQUID传感器，用于低电流、无损检测短路、漏电和高电阻开路。可实现低成本定位，用于检测封装器件和PC板中的短路及漏电。

 EFI工具：能够以极高的精确度检测失效的开路故障。

 HiRes工具：将两个传感器组合成一个工具。在靠近电流扫描时，SQUID传感器用于检测尽可能最小的电流，磁阻传感器用于获得绝\对\最\佳的空间分辨率。因此，其具有两方面的优点：世\界\级的空间定位和灵敏度。

仪器参数

产品应用

1、该仪器是一种双磁传感器系统，可以将SSM工具的性能扩展到模具(可以是全晶片，也可以是复杂的3D TSV或线焊设备)。该仪器使用非破坏性技术在模具、封装和PC板层面创建设备当前图像。然后，当前图像可以与光学基准和设计数据结合使用，以定位三维静态缺陷。

2、该仪器将超导量子干涉器件传感器(SQUID)的灵敏度与高分辨率磁阻传感器相结合。采用两步方法，通过SQUID可以非常快速地映射设备内部电流产生的磁场，然后通过高分辨率传感器再次进行高精度和分辨率的映射。由于在典型设备中使用的大多数材料都有磁场渗透，所以不需要对设备进行任何方式的反处理就可以开始定位故障。

3、此外，两个传感器均只需要很小的电流，这样可以保护被测设备免受进一步的损坏，并且可能是在尝试检测具有非常高电阻(100k ω)的电路故障时的唯一选择。

4、该仪器可以分析的典型故障包括短路、泄漏和电阻断路。该系统可用于成像交流和/或直流磁场(同样，电流)取决于设备的要求。

磁场成像显微镜系统 Magma SSM HiRes信息由北京正通远恒科技有限公司为您提供，如您想了解更多关于磁场成像显微镜系统 Magma SSM HiRes报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途