随着电子技术的不断发展，对于精密微小（纳米级）的微电子器件，要去测试它的基本电性能或磁性能，就需要有一种高精度探针座，通过显微镜将被测元件放大，用高精度微探针进行扎针，外部连接测试主机进行测试和分析。

      Adgarde 室温磁场探针台（PSM-PM-4）为样品材料在磁场下提供一个测试环境，外部连接测试主机可用于测量半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等重要的霍尔参数。还可以在室温下对芯片、晶圆和器件进行非破坏测试。（我们可定制PSM-PM-2、4、6、8寸探针台）

稳定的双位移调节系统

      1.样品座可以放置最大8英寸的晶圆样品，通过移动样品座下面的滑台，可以实现X-Y轴±50的移动行程，并且样品座本身可以进行三维上的精细调节，使得样品测试和换样更加便捷。

      2.探针臂底座采用螺钉固定，可使探针在X-Y-Z三个维度上进行调节，并且可以360°旋转，配合样品座位移调节，可满足探针快速扎到样品的任意位置。

      极小的漏电性

      1.探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电性 小，漏电流在100fA以内，探针臂内置线缆， 避免杂乱的走线

      2.探针采用针套固定，只有针尖裸露在外，减小漏电

      霍尔测量便捷易操作

      1.无需将线连接到样品上（在传统霍尔测量系统 需连接），就可以探测直径高达51mm的完整或者部分晶片，无需再将晶片切成块状结构。

      独特的配置

      样品台

      光学系统样品座可以放置最大8英寸的晶圆样品，通过移动样品座下 CCD最大放大倍数可达180倍，并附有环形光源，屏幕分辨率高， 面的滑台，可以实现X-Y轴±50mm的超大移动行程，使得样 使得图像清晰可见，可实现100nm的扎针。并且CCD支架有工作和 品测试和换样更加便捷；样品座本身可以进行三个轴上 非工作两种摆放位置。 （X-Y-Z）的精细调节，配合探针臂的移动，可以使得四个 探针扎到样品的任意位置；样品座外层镀金，电导率性能  光学系统 好；多孔吸附，对各种形状的样品固定都非常稳定，同时  显微镜放大倍数 10-180倍 又不会造成对测量的干扰。

光学系统

      CCD最大放大倍数可达180倍，并附有环形光源，屏幕分辨率高，使得图像清晰可见，可实现100nm的扎针。并且CCD支架有工作和非工作两种摆放位置。

探针臂

      探针臂底座采用螺钉固定，避免了真空吸附在不开启真空泵既无法固定的问题，同时探针臂可以在X-Y-Z三个轴上进行调节，并且可以360°旋转，配合样品座位移调节，可满足探针快速扎到样品的任意位置，探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电性小，漏电流在100fA以内，探针臂内置线缆，避免杂乱的走线。

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途