PSM等离子体质量和能量分析质谱仪

Hiden PSM是一台结合质量和能量分析的仪器，用于分析等离子体过程中正、负离子、中性粒子以及自由基的种类和能量分布。

PSM是一台差式泵质谱仪（In-Line Plasma Analysers for Neutrals, Radicals and Ion Analysis），分析等离子过程中的二次离子和中性粒子。

特点

·差式泵歧管，通过法兰与过程反应室连接

·电子附着选件，具有可调谐的离子源，用于表观电势MS
·Penning规和互锁装置可提供过压保护
·信号选通分辨率1μs，用于研究脉冲等离子体或能量、质量分布VS时间
·标准分析中性粒子、自由基，+ve / -ve 离子分析可选

 参数

·灵敏度高 / 极稳定的3级过滤四极杆

·质量数范围：     0 ~ 2500amu

·脉冲离子计数检测器，7个数量级的动态范围

·能量分析选件，标准 ±100eV（1000eV可选 ）

·Mu-Metal, Radio-metal屏蔽可选， 高压操作可选
·通过RS232、RS485或Ethernet LAN ，软件MASsoft 控制

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途