| 高表面灵敏度 | 1x109 atoms/cm2 (ppm) |
| 质量分辨率 | >2,500 m/δm (FWHM) |
| 质量范围 | >1000 amu |
| 质量范围达10,000 amu，带有高质量检测器（可选） | |
| 质量准确度 | ± 5 milli amu |
| 分析区域 | 100µm to 1000µm |
| SIMS | 正极和负极模式 |
| 低能电子枪，用于绝缘体的电荷补偿 | |
| 表面的元素和分子信息 | |
| 同位素分析 | |
| 进行和绝缘样品分析 | |
| 溅射清洗能力 | |
| 1分钟分析 | |
| 从大气中抽出5分钟的样品 | |
| 提供SIMS数据库 | |
| 可选的光学显微镜/照相机/监视器 |
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经销商
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