研究开发向NLD干法刻蚀设备NLD-570

产品型号：NLD-570

品牌：爱发科

产品产地：日本

产品类型：进口

原制造商：爱发科

状态：在售

厂商指导价格： 498.5万元[人民币]

上市时间： 2020-11-05

英文名称：NLD-570 dry etching system

优点：搭载了爱发科独chuang的磁性中性线（NLD- neutral loop discharge）等离子源的装置，此NLD技术可实现产生低压、低电子温度、高密度的等离子。