GB/T 15861-2012
离子束蚀刻机通用规范
General specification of ion beam etching system
GBT15861-2012, GB15861-2012
- 标准号
- GB/T 15861-2012
- 别名
- GBT15861-2012, GB15861-2012
- 发布
- 2012年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 15861-2012
- 引用标准
- GB/T 13384-1992 GB/T 191 GB/T 4857.7-2005 GB/T 5080.7-1986 GB/T 6388-1986 SJ/T 10674 SJ/T 1276 SJ/T 142
- 被代替标准
- GB/T 15861-1995
- 适用范围
- 本标准规定了离子束蚀刻机的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存。 本标准适用于物理溅射腐蚀作用的通用离子束蚀刻机。其他专用离子束蚀刻机亦可参照执行。