Helios 5 DualBeam 双束扫描电镜

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赛默飞FIB-SEM双束聚焦扫描电镜, 用于 TEM 和 STEM 成像或原子探针断层扫描的样品制备。产品可实现先进的自动化操作，简单易用，并且能够进行高质量的......

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电镜设备的规格

若要查看 Helios 5 HX DualBeam 和 Helios 5 FX DualBeam 的规格，请下载文档部分中的数据表。

半导体应用规格

适用于半导体行业的 Helios 5 DualBeam 规格

		Helios 5 CX	Helios 5 HP	Helios 5 UX	Helios 5 HX	Helios 5 FX
		工作准备和 XHR SEM 成像		最终样品制备（TEM 片层、APT）		埃米级 STEM 成像和样品制备
SEM	分辨率	20 eV – 30 keV		20 eV – 30 keV
	着陆能量	0.6 nm @ 15 keV 1.0 nm @ 1 keV		0.6 nm @ 2 keV 0.7 nm @ 1 keV 1.0 nm @ 500 eV
STEM	分辨率 @ 30 keV	0.7 nm		0.6 nm		0.3 nm
FIB 制备工艺	最大物料去除率	65 nA	100 nA	65 nA
	最佳最终抛光	2 kV		500 V
TEM 样品制备	样品厚度	50 nm	15 nm	7 nm
	自动化	否	是	是
样品处理	行程	110 x 110 x 65 mm	110 x 110 x 65 mm	150 x 150 x 10 mm	100 x 100 x 20 mm	100 x 100 x 20 mm + 5 轴 (S)TEM 计算机阶段
	加载锁	手动快速加载器	自动	手动快速加载器	自动	自动 + 自动插入/拔出 STEM 杆

材料科学应用规格

用于材料科学的 Helios 5 DualBeam 的规格

		Helios 5 CX	Helios 5 UC	Helios 5 UX
离子光学系统		具有出色的高电流性能的 Tomahawk HT 离子柱		具有卓越高电流和低电压性能的 Phoenix 离子镜筒
	离子束电流范围	1 pA – 100 nA		1 pA – 65 nA
	加速电压范围	500 V – 30 kV		500 V – 30 kV
	最大水平射野宽度	在光束重合点处为 0.9 mm		在光束重合点处为 0.7 mm
	最小离子源寿命	1,000 小时		1,000 小时
		两级差速抽气飞行时间 (TOF) 校正 15 位置光阑条		两级差速抽气飞行时间 (TOF) 校正 15 位置光阑条
电子光学系统		Elstar 超高分辨率场发射 SEM 镜筒	Elstar 极高分辨率场发射 SEM 镜筒
		磁性浸没物镜	磁性浸没物镜
		可提供稳定的高分辨率分析电流的高稳定性肖特基场发射枪	可提供稳定的高分辨率分析电流的高稳定性肖特基场发射枪
电子束分辨率	最佳工作距离 (WD) 下	30 kV (STEM) 时 0.6 nm 15 kV 时 0.6 nm 1 kV 时 1.0 nm 1 kV（射束减速*）时为 0.9 nm	30 kV (STEM) 时 0.6 nm 1 kV 时 0.7 nm 500 V (ICD) 时 1.0 nm
	重合点上	15 kV 时 0.6 nm 1 kV（射束减速和 DBS）时为 1.5 nm	15 kV 时 0.6 nm 1 kV 时 1.2 nm
电子束参数空间	电子束电流范围	0.8 pA 至 176 nA	0.8 pA 至 100 nA
	加速电压范围	200 V – 30 kV	350 V – 30 kV
	着陆能量范围	20 eV – 30 keV	20 eV – 30 keV
	最大水平射野宽度	4 mm WD 时 2.3 mm	4 mm WD 时 2.3 mm
检测器		Elstar 镜筒内 SE/BSE 检测器（TLD-SE、TLD-BSE）
		Elstar 色谱柱内 SE/BSE 检测器 (ICD)*
		Elstar 色谱柱内 BSE 检测器 (MD)*
		Everhart-Thornley SE 检测器 (ETD)
		查看样品/色谱柱的 IR 摄像机
		用于二级离子 (SI) 和二级电子 (SE) 的高性能腔室内电子和离子检测器 (ICE)*
		用于样品导航的 Thermo Scientific 腔室内 Nav-Cam 摄像机*
		可伸缩、低电压、高对比度、定向、固态反向散射电子检测器 (DBS)*
		带 BF/DF/HAADF 分段的可伸缩 STEM 3+ 检测器*
		集成的等离子束电流测量
载物台和样品	载物台	灵活的 5 轴电动载物台	高精度五轴电动载物台，配有压电驱动的 XYR 轴
	XY 范围	110 mm	150 mm
	Z 范围	65 mm	10 mm
	旋转	360°（无限）	360°（无限）
	倾斜范围	-15° 至 +90°	-10° 至 +60°
	最大样品高度	与共心点间距 85 mm	与共心点间距 55 mm
	最大样品重量	500 g，任何载物台位置上 0° 倾斜下最高 5 千克（适用某些限制）	500 g（包括样品架）
	最大样品尺寸	完全旋转时 110 mm（也可以是更大的样品，但旋转有限）	完全旋转时 150 mm（也可以是更大的样品，但旋转有限）
		计算中心旋转和倾斜	计算中心旋转和倾斜