Helios 5 PFIB DualBeam聚焦离子束扫描电子显微镜

• Elstar 超高分辨率场发射 SEM 色谱柱，具有：

• 浸没式磁物镜

• 可提供稳定的高分辨率分析电流的高稳定性肖特基场发射枪

• UC+ 单色器技术

• 在优化工作距离 (WD) 处：

• 1 kV 时 0.7 nm

• 500 V (ICD) 时 1.0 nm 

• 在重合点：

• 15 kV 时 0.6 nm

• 1 kV 时 1.2 nm

• 电子束电流范围：0.8 pA 至 100 nA

• 加速电压范围：200 V – 30 kV

• 着陆能量范围：20* eV – 30 keV

• 最大水平射野宽度：4 mm WD 时 2.3 mm

• 高性能 PFIB 色谱柱，带电感耦合 Xe+ 等离子 (ICP)

• 离子束电流范围：1.5 pA 至 2.5 µA

• 加速电压范围： 500 V - 30 kV

• 最大水平射野宽度：在等离子束重合点处为 0.9 mm 

• 重合点时的离子束分辨率

• <使用首选统计方法在 30 kV 时为 20 nm

• <在 30 kV 下使用选择角方法时为 10 nm

• Elstar 镜筒内 SE/BSE 检测器（TLD-SE、TLD-BSE）

• Elstar 色谱柱内 SE/BSE 检测器 (ICD)*

• Everhart-Thornley SE 检测器 (ETD)

• 查看样品/色谱柱的 IR 摄像机

• 用于二级离子 (SI) 和二级电子 (SE) 的高性能离子转换和电子 (ICE) 检测器

• 腔室内 Nav-Cam 样品导航摄像机*

• 可伸缩、低电压、高对比度、定向、固态反向散射电子检测器 (DBS)*

• 集成的等离子束电流测量

灵活的 5 轴电动平台：

• XY 范围：110 mm

• Z 范围：65 mm

• 旋转：360°（无限）

• 倾斜范围：-38° 至 +90°

• XY 重复性：3 μm

• 最大样品高度：与共心点间距 85 mm

• 0° 倾斜时的最大样品重量：5 kg （包括样品架）

• 最大样品尺寸：完全旋转时 110 mm（也可以是更大的样品，但旋转有限）

• 计算中心旋转和倾斜

高精度，5 轴电动样品台（带 XYR 轴），压电驱动

• XY 范围：150 mm

• Z 范围：10 mm

• 旋转：360°（无限）

• 倾斜范围：-38° 至 +60°

• XY 重复性：1 μm

• 最大样品高度：与共心点间距 55 mm

• 0° 倾斜时的最大样品重量：500 g（包括样品架）

• 最大样品尺寸：完全旋转时 150 mm（也可以是更大的样品，但旋转有限）

• 计算中心旋转和倾斜

• Elstar 超高分辨率场发射 SEM 色谱柱，具有：

• 浸没式磁物镜

• 可提供稳定的高分辨率分析电流的高稳定性肖特基场发射枪

• UC+ 单色器技术

• 在工作距离 (WD) 处：

• 1 kV 时 0.7 nm

• 1 kV 时 1.2 nm

• 在重合点：

• 15 kV 时 0.6 nm

• UC+ 单色器技术

• 高性能 PFIB 色谱柱，带电感耦合 Xe+ 等离子 (ICP)

• 离子束电流范围：1.5 pA 至 2.5 µA

• 加速电压范围： 500 V - 30 kV

• 最大水平射野宽度：在等离子束重合点处为 0.9 mm 

• 重合点时的离子束分辨率

• <使用首选统计方法在 30 kV 时为 20 nm

• <在 30 kV 下使用选择角方法时为 10 nm

灵活的 5 轴电动平台：

• XY 范围：110 mm

• Z 范围：65 mm

• 旋转：360°（无限）

• 倾斜范围：-38° 至 +90°

• XY 重复性：3 μm

• 最大样品高度：与共心点间距 85 mm

• 0° 倾斜时的最大样品重量：5 kg （包括样品架）

• 最大样品尺寸：完全旋转时 110 mm（也可以是更大的样品，但旋转有限）

• 计算中心旋转和倾斜

• Thermo Scientific QuickLoader 加载锁定选项

高精度，5 轴电动样品台（带 XYR 轴），压电驱动

• XY 范围：150 mm

• Z 范围：10 mm

• 旋转：360°（无限）

• 倾斜范围：-38° 至 +60°

• XY 重复性：1 μm

• 最大样品高度：与共心点间距 55 mm

• 0° 倾斜时的最大样品重量：500 g（包括样品架）

• 最大样品尺寸：完全旋转时 150 mm（也可以是更大的样品，但旋转有限）

• 计算中心旋转和倾斜

• 自动加载锁定选项

• Thermo Scientific QuickLoader 加载锁定选项

5 轴全压电陶瓷驱动 UHR 载物台

• XY 范围：100 mm

• 自动加载锁定选项

• 最大样品尺寸：70 mm 直径（全行程）

• 样品类型：晶片件、封装件、TEM 网格、最大 100 mm 的全晶片

• NavCam + 摄像机

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