4、6英寸半导体晶片无接触、无损检测的标准仪器。
SiC基板的分布测量，密集的颜色区域已被检测为不同的载流子密度。
砷化镓外延层的测量结果
| 参数 | n型 (数据量 :4×1018cm-3) | p型 (数据量:1×1018cm-3) |
| 载流子密度N (cm-3) | 4.48×1018 | 1.15×1018 |
| 弛豫时间 (secs) | 8.47×10-14 | 2.51×10-14 |
| 流动性 μ (cm2/Vs) | 1885 | 130 |
| 电阻率 p (Ω?cm) | 0.74 x 10-3 | 0.042 |
获得的载流子密度与霍尔测量结果误差±10%一致。
大阪大学hangyo实验室测量结果
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