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原子层沉积系统(ALD)
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Picosun原子层沉积系统(ALD), 等离子体增强型原子层沉积PEALD介绍: PICOFLOW™ 扩散增强器 PICOFLOW™扩散增强器用于提升深沟槽、高深宽比样品的薄膜质量。同样适用于多孔、通孔、柔性样品,粉末及其他复杂纳米结构的样品。该装置兼容所有Picosun™ ALD设备。
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