产品型号：NLD-4000（ICPM）

品牌：那诺-马斯特

产品产地：美国

产品类型：进口

原制造商：那诺-马斯特

状态：在售

厂商指导价格： 100~200万元[人民币]

上市时间： 2011年

英文名称：NLD-4000（ICPM）

优点： 原子层沉积技术 NLD-4000（ICPM）PEALD系统概述：原子层沉积是一项沉积薄膜的重要技术，具有广泛的应用。ALD原子层沉积可以满足精确膜厚控制以及高深宽比结构的保形沉积，这方面ALD原子层沉积远超过其它沉积技术。由于前驱体流量的随意性不会带来影响，所以在ALD原子层沉积中有序、自限制的表面反应将会带来非统计的沉积。这使得ALD原子层沉积膜保持高度的光滑、连续以及无孔的特性，可以提供卓越的薄膜性能。ALD原子层工艺也可以实现到大基片上。