美国ARRADIANCE台式原子层沉积系统

美国ARRADIANCE公司的GEMStar  XT系列台式 ALD系统，在小巧的机身（78 x56 x28  cm）中集成了原子层沉积所需的所有功能，可zei多容纳9片8英寸基片同时沉积。GEMStar  XT全系配备热壁，结合前驱体瓶加热，管路加热，横向喷头等设计，  使温度均匀性高达99.9%，气流对温度影响减少到0.03%以下。高温度稳定度的设计不仅实现在  8英寸基体上膜厚的不均匀性小于1%，而且更适合对超高长径比的孔径结构等3D结构实现均匀薄膜覆盖，可实现对高达1500：1长径比微纳深孔内部的均匀沉积。

GEMStar XT 产品特点：

l  300℃ 铝合金热壁，对流式温度控制

l  175℃ 温控150ml前驱体瓶，200℃ 控输运支管

l  可容纳多片4，6，8英寸样品同时沉积

l  可容纳1.25英寸/32mm厚度的基体

l  标准CF-40接口

l  可安装原位测量或粉末沉积模块等选件

l  等离子体辅助ALD插件

l  多种配件可供选择