SUPERALD Exploiter原子层沉积大尺寸沉积系统
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产品型号：Thermal-ALD 1
品牌：原速科技
产品产地：深圳
产品类型：国产
原制造商：原速科技
状态：在售
厂商指导价格： 50~100万元[人民币]
上市时间： 2020-05-15
英文名称：Thermal-ALD 1
优点：工艺温度：温度范围：RT~500°C 精度：土1°C（可定制）；前驱体路数：支持6路前驱体气路（可定制)，包含固、液态前驱体源瓶
参考成交价格： 50~100万元[人民币]
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原子层沉积(ALD)
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