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阿尔派台阶仪, 仪器简介: 该系统利用扫描探针显微镜光杠杆位移检测技术和超平整参照面-大型样品台扫描技术,并与压电陶瓷(PZT)扫描完美结合,可以再不丧失精度的情况下,即得到超大样品整体三维轮廓图,又呈现局部三维形貌像。其中样品台扫描参考平面使用超高平坦度光学抛光平台,有效解决了以往样品台扫面,由于丝杠公差引起的测试结果有亚微米量级的误差。
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