日立扫描电镜SEM, 优异的高效分析性能 微型采样方法(已在日本和美国取得zl)已在半导体器件分析领域成为一款工具，它正迅速向更小制样方向发展。仅用一小时左右即可获得一个微小样品，以便于STEM分析，其定位精度可达到0.1 µm以下。