Park systems NX-Wafer 原子力显微镜_新闻报道和使用_分析测试百科网

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Park systems NX-Wafer 原子力显微镜

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Park原子力显微镜扫描探针/原子力显微镜SPM/AFM, 自动化工业级原子力显微镜，带来线上晶片检查和测量 Park Systems推出业内噪声zei低的全自动化工业级原子力显微镜——XE-Wafer。该自动化原子力显微镜系统旨在为全天候生产线上的亚米级晶体（尺寸200 mm和300 mm）提供线上高分辨率表面粗糙度、沟槽宽度、深度和角度测量。借助True Non-Contact™模式，即便是在结构柔软的样品，例如光刻胶沟槽表面，XE-Wafer可以实现无损测量。

扫描探针/原子力显微镜SPM/AFM

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