【技术特点】-- 日立 FT9500系列 X射线荧光镀层厚度测量仪

1. 薄膜及多层膜测量

通过采用新型的毛细管（X射线聚光系统）和X射线源，把与以往机型FT9500同等强度的X射线聚集在30 μmΦ的极微小范围。因此，不会改变测量精度即可测量几十微米等级的微小范围。
同时，也可对几十纳米等级的Au/Pd/Ni/Cu多镀层的各层膜厚进行高精度测量。

2. 异物分析

通过高能量微小光束和高计数率检测器的组合，可进行微小异物的定性分析。利用CCD摄像头选定样品的异物部分并照射X射线，通过与正常部分的能谱差进行异物的定性分析（Al～U）。

3. 数据编辑功能

配备了Microsoft Excel和Microsoft Word。在Microsoft Excel上面配备了统计处理软件，可以进行测量数据、平均值、zei大/zei小值、C.V.值、Cpk等的统计处理。 另外，通过Microsoft Word可以简单的制作包含了样品画图的测量报告书。

4. 高强度照射

通过高强度照射在微小部分也可以鲜明的观察、聚焦位置。

5. 样品工作台

配备等同与FT9550X的大型样品台，能够对大型线路板等样品进行整体排列测量对应。

【技术特点对用户带来的好处】-- 日立 FT9500系列 X射线荧光镀层厚度测量仪

【典型应用举例】-- 日立 FT9500系列 X射线荧光镀层厚度测量仪