MiniQS高性能离子溅射镀膜仪

MiniQS 作为一款高性价比离子溅射镀膜仪，能够提供可重复且操作简单的镀膜效果，其采用一个磁控溅射头及圆形靶材设计。

MiniQS非常适合精打细算的用户，他们也希望在易于使用的仪器中获得可重复的结果。MiniQS 使用磁控溅射头和易于更换的圆盘靶材。

特征

• 通过单点触控操作预设配置文件

• 溅射头为铰链，操作方便

• 配有安全联锁装置

• 可拆卸腔室，带有防爆罩和顶板，便于清洁

• 用户可以快速更换腔室，以避免交叉污染

• 自动操作，用户干预最少

• 紧凑的尺寸;台式扫描电镜的理想选择

• 一系列高贵的靶材选项，适合大多数应用，包括法医学

• 可以将样品涂布到直径为 50 毫米

规格

仪器尺寸

• 225mm 宽 x 420mm 深325 x 325mm 高（480mm 高，涂布头打开）

重量

• 8.7千克

溅射靶材

• 圆盘式 57 mm Ø 0.1mm 厚的金 （Au） 靶材包含在配件包中（提供金/钯 （Au/Pd） 和银 （Au） 靶材选项）

试样阶段

• 50mm Ø 载物台

真空

• 环形交叉

MiniQS的推荐应用：

• 低倍率和中倍率

• 台式SEM镀膜机

这些产品仅供研究使用。

安全

MiniQS 符合关键的行业 CE 标准

• 符合英国和欧洲行业标准，包括 LVD、EMC 和 RoHS

• 真空联锁装置可消除沉积源的电源，以防止用户暴露在高压下