Quorum镀膜机, SC7620溅射镀膜仪 英国Quorum的SC7620是一台结构紧凑、价格低廉的磁控离子溅射镀膜仪。如与镀碳附件(CA7625F)结合使用，为理想的低价位扫描电镜溅射、镀碳系统。SC7620耐用、易操作。SC7620适合预算有限、需要高质量镀膜、仪器易操作的用户。对于常规应用, SC7620具有φ100㎜(4″)的玻璃腔室，使用磁控溅射头，带有易更换的圆片靶（标配为金/钯合金）。溅射头为方便的铰链式，并具有电安全互锁装置。高压电缆带有屏蔽功能，以预防意外损坏。通过氩气针阀调整真空度，以改变等离子电流；气体注入系统可预设等离子放电。 必备：推荐使用50 l/m 双级旋转机械泵（E5005F），随机配有油雾过滤器。如果想使用已有的旋转机械泵，确保它的容量为50 l/m 或更优是非常重要的。 可选附件 - 镀碳仪 SC7620可选配(CA7625F)镀碳装置，包括蒸发电源和碳丝头。镀碳附件很容易安装。用碳丝头替换铰链式连接的溅射头即可。为确保暴露在外的溅射头不被供电，安装了机电互锁装置，以确保溅射头断电。