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Quorum高真空离子溅射镀膜仪Q150T ES PLUS

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Quorum镀膜机, Q150T PLUS系列镀膜仪是一款专为SEM、TEM及薄膜应用设计的高真空镀膜仪,对于扫描电镜尤其是高分辨场发射扫描电镜(SEM)样品制备、透射电镜(TEM)及其它非电镜(如材料领域)镀膜应用非常理想。Q150T PLUS装在一个坚固的特制整体成型机箱中,包括空气冷却的70L/s涡轮分子泵。自动进气控制保证了镀膜期间最佳的真空条件。真空腔室直径为165mm (6.5英寸)并带有防爆罩。Q150T PLUS含有的“真空闭锁”功能允许在不用设备时维持腔室真空,从而改善后续真空性能。Q150T PLUS系列有三种型号:Q150T S PLUS、Q150T E PLUS和Q150T ES PLUS,其中Q150T ES PLUS为一款集成了离子溅射和热蒸镀两种真空镀膜方式的系统,镀膜头可在数秒内快速更换,智能逻辑系统自动识别出所装的镀膜头类型,并自动显示相应的操作设置。它既可溅射易氧化及不氧化金属(贵金属),标配一块铬靶,可选金、银、铂、钯、金/钯合金、铂/钯合金、铱、铝、钽、ITO氧化铟锡、铁、钨、钛等多种金属靶;也可作为高真空镀碳仪(标配为3.05mm碳棒),用来制作高稳定性的碳膜和表面覆形膜,对透射电镜(TEM)的应用非常理想。

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