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海洋光学白光干涉测厚仪, NanoCalc 薄膜反射测试仪能够实现10nm-250um范围内的膜层厚度测量。对于单层膜厚, 其精度可达0.1nm。通过软件选择, 1s 内可以实现单膜或多膜测量, 并能够实现半导体配向膜, 抗划膜, 硬膜, 增透膜的测量。NanoCalc 基于反射光干涉来测量膜厚, 不仅适用于非透明基底材料, 也适用于透明基底材料膜厚测量。
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