那诺-马斯特电子束刻蚀, NIE-4000（A）全自动IBE离子束刻蚀产品，如铜和金等金属不含挥发性化合物，这些金属的刻蚀无法在RIE系统中完成。然而通过加速的Ar离子进行物理刻蚀则是可能的。