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技术规格：
- 加热方式：红外卤素钨灯，1.2KW/支；
- 卤素红外灯数量：12支，或18支；
- 最快升温速率：100℃/秒；
- 最快降温速率：60秒(1000℃ → 400℃)；
- 最高温度：1200℃；
- 温度精度：+/-1℃
- 最大样品尺寸：100 X 100mm, 或150mm X 150mm；
- 退火环境：真空、惰性气体、空气、其他工艺气氛(如氧气、氢气等)；
- 真空泵及极限压力：机械泵，10-3Torr水平(选配)；
- 电压：220 V，单相或三相；
- 仪器尺寸：500 X 400 X 500mm (W X D X H)；
- 质量：净重60Kg；
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