品牌:Ecopia Corp.
型号:RTP-1300,RTP-1600;
RTP-1300, RTP-1600为Ecopia进口真空快速退火炉,仪器带有控制软件,为台式设计。
RT-1300可以退火100mmX100mm尺寸的样品,RTP-1600可以退火150mmX150mm尺寸的样品。
仪器特点:
- 可在真空/不同气氛/空气不同环境下,对样品进行快速热处理;
- 温控精度高;
- 适合高校或研究所科研使用;
- 带有RTP控制软件;
- 紧凑的台式设计;
- 仪器操作方便,样片装取容易;
- 价格合理,高性价比;
应用领域:
- 快速热退火 (Rapid Thermal Annealing,RTA);
- 快速热氧化 (Rapid Thermal Oxidation,RTO);
- 快速热氮化 (Rapid Thermal Nitridation,RTN);
- 硅化 (Silicidation);
- 扩散 (Diffusion);
- 化合物半导体退火 (Compound Semiconductor Annealing);
- 离子注入后退火 (Implant Annealing);
- 电极合金化 (Contact Alloying);
- 晶化和致密化 (Crystallization and Densification);
- 合金熔点分析;
- 薄膜沉积;
等等…
RTP-1300快速退火炉参考用户:
北京师范大学、北京理工大学、昆明理工大学、中国科大、东南大学、西安交通大学、陕西师大、渤海大学、中科院苏州纳米所、国电光伏、苏州新磊等...
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