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无掩膜显微镜LED曝光机 UTA-IA

tel: 400-6699-117 1000

ARMS SYSTEM体视显微镜/立体显微镜, 显微镜LED曝光单元UTA系列是用于光刻的图案投影曝光设备,其不需要掩模。 (无掩模曝光装置) ·使用金属显微镜和LED光源DLP投影仪,在涂有抗蚀剂的基板上投射几微米分辨率的任何图案并进行曝光。 ·可以在个人计算机上自由创建图案。

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          易于使用的专用软件可以轻松创建曝光模式
          利用物镜的放大倍数,可以从精细图案到大面积的一次性曝光
          能做到几微米的分辨率(几微米的图案模式)

  曝光范围: 最大2.5mm×1.5mm

         最小100μm×60μm

※和ARM300显微镜配套时候的数値

 Cmount0.57X使用時



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