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ARMS SYSTEM体视显微镜/立体显微镜, 显微镜LED曝光单元UTA系列是用于光刻的图案投影曝光设备,其不需要掩模。 (无掩模曝光装置) ·使用金属显微镜和LED光源DLP投影仪,在涂有抗蚀剂的基板上投射几微米分辨率的任何图案并进行曝光。 ·可以在个人计算机上自由创建图案。
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